品質檢測服務
我們提供符合半導體等級標準的高精度品質檢測服務,涵蓋氣密性、尺寸精度與潔淨度控制,透過多元檢測技術確保產品在極端製程環境下的可靠性與穩定性。



氦氣測漏儀
服務內容:
- 氦質譜檢漏(Mass Spectrometer Method)
- 真空元件 / 焊接件 / 管路氣密測試
- 半導體氣體系統(VMB / VMP / Gas Line)檢測
- 客製洩漏標準(≤1×10⁻⁹ atm·cc/sec)
- 無塵室組裝與氮氣吹掃
- 完整資料包(焊接履歷 / Leak Test 報告 / 材料證明)
服務價值:
- 確保零洩漏風險
- 提升真空與氣體系統可靠性
- 符合 SEMI / 半導體製程標準
三次元量測
服務內容:
- FARO 可攜式三次元量測(Portable CMM)
- 精密尺寸與幾何公差分析(GD&T)
- 複雜曲面與異形件量測
- CAD比對與偏差分析(Deviation Analysis)
服務價值:
- μm等級精度驗證
- 快速量測,縮短檢測時間
- 提供完整數據報告與追溯
飽壓測漏儀
服務內容:
- 正壓 / 負壓氣密測試(Pressure Decay Method)
- 密封件、閥件與流體元件檢測
- 批量快速測試(Production Line QC)
- 客製壓力與判定條件設定
服務價值:
- 高效率檢測(適合量產)
- 成本低於氦測試(初篩用途)
- 可快速篩選不良品
Particle Data System
服務內容:
- 微粒子計數與污染分析(Particle Counting)
- 氣體管路與流體系統潔淨度檢測
- 半導體製程污染控制驗證
- 符合 ISO / SEMI潔淨標準
服務價值:
- 降低製程污染風險
- 提升產品良率與穩定性
- 確保高潔淨製程要求