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Pumping Line
Pumping Line
Pumping Line
- 產品功能
- 提供製程腔體至真空幫浦之穩定抽氣通道
- 降低壓損並優化抽氣效率
- 適用於半導體、光電及高真空製程設備
- 支援高溫、高流量及腐蝕性氣體環境
產品說明
Pumping Line 為高真空不鏽鋼焊接管路組件，採用精密彎管與全滲透焊接製程製作，確保氣密性與結構強度。可依設備需求客製化直管段、彎頭、波紋管、支撐架與多接口模組，滿足 UHP 及真空系統整合需求。
| 管徑範圍 | 10A ~ 100A |
| 對應英制 | 3/8" ~ 4" |
| 材質 | SUS304 / SUS316L |
| 連接形式 | ISO-KF / ISO-F / CF / 客製法蘭 |
| 表面處理 | 內外酸洗、電解拋光 (EP 選配) |
| 洩漏率 | ≤ 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
| 適用壓力 | 真空 ~ 1 bar |
| 適用溫度 | 依材質 -20°C ~ 400°C |