Cold Trap

Name: Cold Trap
SKU: 171

Cold Trap 為設置於製程腔體與真空幫浦之間的冷凝捕集裝置，透過低溫表面使水氣與高沸點氣體凝結並附著於內部結構，有效降低幫浦污染與背流風險。可依系統需求設計為 KF、ISO 或 CF 標準法蘭形式，適用於半導體、鍍膜與高真空製程設備。