VMB/VMP /Gas Panel VALVE MANIFOLD BOX /PANEL
VMB
- 產品功能
- 適用高純氣體與特殊氣體(H₂, N₂, O₂, Specialty Gases 等)
- 高潔淨焊接製程(TIG / Orbital Welding)
- 內部氣密測試與壓力測試驗證
- 模組化設計,便於系統擴充與維護
- 壓力監控、過壓保護與安全聯鎖設計
- 316L 不鏽鋼流道結構
- 材料批次可追溯與文件化管理
- 符合 ISO 品質管理體系製程控管
產品說明
VMB(Valve Manifold Box)與 VMP(Valve Manifold Panel)為高純氣體供應系統之關鍵控制模組,廣泛應用於半導體製程、晶圓廠氣體系統及高科技產線。系統整合氣體切換、壓力調節、流量控制與安全聯鎖功能,確保氣體穩定輸送、純度維持與製程安全。
本產品依半導體等級製造標準設計,強調焊接品質、氣密完整性與材料可追溯性,滿足高潔淨與高可靠度之運行要求。