VMB/VMP /Gas Panel VALVE MANIFOLD BOX /PANEL

VMB

產品功能
適用高純氣體與特殊氣體(H₂, N₂, O₂, Specialty Gases 等)
高潔淨焊接製程(TIG / Orbital Welding)
內部氣密測試與壓力測試驗證
模組化設計,便於系統擴充與維護
壓力監控、過壓保護與安全聯鎖設計
316L 不鏽鋼流道結構
材料批次可追溯與文件化管理
符合 ISO 品質管理體系製程控管

產品說明

VMB(Valve Manifold Box)與 VMP(Valve Manifold Panel)為高純氣體供應系統之關鍵控制模組,廣泛應用於半導體製程、晶圓廠氣體系統及高科技產線。系統整合氣體切換、壓力調節、流量控制與安全聯鎖功能,確保氣體穩定輸送、純度維持與製程安全。

本產品依半導體等級製造標準設計,強調焊接品質、氣密完整性與材料可追溯性,滿足高潔淨與高可靠度之運行要求。

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