真空腔體法蘭與配管轉接件

真空腔體法蘭與配管轉接件

產品功能
1.真空腔體連接
2.真空腔體連接
3.減壓腔室連接
4.真空夾具固定

產品說明

苗鐵精密提供各式真空腔體法蘭與配管轉接件,包含 ISO、CF、KF、NW 系列法蘭與相對應的焊接轉接接頭,適用於真空系統、半導體製程設備與氣體控制模組。
產品採用 SUS304、316、316L 與 EP 等級材料,並可搭配 TIG 焊接、ORBITAL 焊接、氦氣洩漏測試(Helium Leak Test)與粗度檢測,確保真空密封性與製程可靠度。
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產品規格

項目 規格
材質 SUS304 / SUS316 / SUS316L / EP
法蘭規格 CF、KF、ISO、NW
尺寸範圍 NW16~NW63 或客製
焊接方式 TIG / ORBITAL
洩漏標準 He-Leak 10^-9 atm·cc/sec
研磨處理 BA / EP / 精密研磨
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