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- 真空腔體法蘭與配管轉接件
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真空腔體法蘭與配管轉接件
真空腔體法蘭與配管轉接件
- 產品功能
- 1.真空腔體連接
- 2.真空腔體連接
- 3.減壓腔室連接
- 4.真空夾具固定
產品說明
苗鐵精密提供各式真空腔體法蘭與配管轉接件,包含 ISO、CF、KF、NW 系列法蘭與相對應的焊接轉接接頭,適用於真空系統、半導體製程設備與氣體控制模組。產品採用 SUS304、316、316L 與 EP 等級材料,並可搭配 TIG 焊接、ORBITAL 焊接、氦氣洩漏測試(Helium Leak Test)與粗度檢測,確保真空密封性與製程可靠度。
產品規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 材質 | SUS304 / SUS316 / SUS316L / EP |
| 法蘭規格 | CF、KF、ISO、NW |
| 尺寸範圍 | NW16~NW63 或客製 |
| 焊接方式 | TIG / ORBITAL |
| 洩漏標準 | He-Leak 10^-9 atm·cc/sec |
| 研磨處理 | BA / EP / 精密研磨 |